真空电容压力计和电容式传感器在原理、应用及特性上存在一定的区别，以下是对两者的详细比较：
一、原理
真空电容压力计：
基本原理是利用电容原理来测量气体压力。在真空规内部有一对平行的金属板，当气体分子在两板之间运动时，会产生电容变化。电容与气体分子数密度成正比，而气体分子数与气体压力成正比，因此可以通过测量电容的变化来确定气体压力。
电容式传感器：
以各种类型的电容器作为传感元件，被测量变化会导致电容器电容量变化。通过测量电路，可将电容量的变化转换为电信号输出，从而判断被测量的大小。电容式传感器的工作原理基于圆筒形电容器原理，由两个绝缘的同轴圆柱极板(内电极和外电极)组成。
二、应用
真空电容压力计：
适用于大气压以下的真空范围，常用于需要精确测量真空度的场合，如半导体制造、航空航天、科研实验等领域。
电容式传感器：
广泛应用于各种测量和控制领域，如位移、角度、振动、速度、压力等多个测量领域。在工业自动化、消费电子、汽车制造等行业中发挥着重要作用。此外，还常用于测量高速变化的参数，以及非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。
三、特性
真空电容压力计：
具有高灵敏度、高分辨率以及快速响应等特点。能够精确测量真空度，并适用于各种真空环境下的测量需求。
电容式传感器：
具有灵敏度高、结构简单、易于实现等优点。同时，还具有测量范围宽、稳定性好、动态响应时间短等特点。能够测量超低温和高压差，也能对带磁工作进行测量。此外，带电极板间的静电引力很小，所需输入力和输入能量极小，因此可测极低的压力、力和很小的加速度、位移等。
综上所述，真空电容压力计和电容式传感器在原理、应用及特性上各有特点。真空电容压力计更专注于真空度的精确测量，而电容式传感器则具有更广泛的应用领域和测量范围。在选择使用时，应根据具体需求和测量环境进行综合考虑。
